Observations

гм, в терминологии отечественной микроэлектроники "топологический размер" - если не официальный термин, то распространенный жаргонизм. топологией микросхемы называют совокупность геометрических элементов ее слоев (фактически - набор фотошаблонов) - и это, как я глянул сейчас в вики, официальная терминология ("..законодательство России предоставляет правовую охрану топологиям интегральных микросхем..") "топологическая норма" - тоже вроде официальный термин, означающий минимально достижимый технологически размер топологического элемента; вроде я его встречал в официальной документации